陰影領域回折像を用いた3次元微細形状情報の検出(IV)

摘要

微細な3次元表面計測は，カメラや顕微鏡などの映像情報の画像解析が一般的手法である．しかしながら，細管の内部などの境界面の3 次元的表面情報を得ることは，現状の画像計測では難しいと考える．コヒーレント光を厚みのある遮光物体に照射した際後方に生じる回折像は，遮光体の厚み情報を含hでいることは古くから知られている．また，2 次元直線端の境界上のミクロンサイズの凹凸の存在は，直接光の影響の少ない陰影領域に曲線干渉縞群として形状が精密に生じることが明らかになっている．