シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発－形状測定装置上のゴニオメータの較正

摘要

本形状測定装置は、並進運動をほとhど用いず2 軸2組のゴニオメータの回転運動を用いて法線ベクトルの測定を行うため回転の精度が非常に重要となってくる。本測定装置でゴニオメータの回転量を求めるためにロータリーエンコーダを用いており、その仕様はハイデンハイン社製ROD800 で電気的な分割により、1.745×10~(-8)rad の分解能を有するが、絶対精度は±5×10~(-6)rad 程度である。また、装置の中に組み込hだ時にカップリングや取り付け誤差の影響により誤差が生じてしまう可能性があり、装置に組み込hだ状態でゴニオメータの較正を行う必要があった。