薄膜の常温接合による微細3 次元形状創成法における異種薄膜接合·転写の実現（第1報）～異種金属薄膜の接合·転写の実現

摘要

我々は3 次元微細構造体を各種材料で高精度に製造することを目的として，薄膜をフォトリソグラフィー法にて構造体の各断面形状にパターニングし，これらを常温接合技術にて転写積層する微細3 次元形状創成法＝FORMULA技術を開発している．これまでにアルミニウム系の薄膜の転写積層を繰り返して，複数の多層積層構造体を一括製造できることや，ブリッジやカンチレバーなどのオーバーハング構造が犠牲層無しに作製できることを示してきた．我々はさらに複雑な3 次元形状を創成するための発展系プロセスとしてAdvanced FORMULAプロセスを検討しているが，その実現には構造体材料と犠牲層材料の異種材料を同時に接合転写することが必要となる．本報告では構造体材料と犠牲層材料の選択と，これら複合膜の同時接合·転写の検証結果について報告する．