軸対称非球面研削における研削面のナノトポグラフィー

摘要

光学機器の小型軽量化·高画質化に伴い，光学部品の高精度化が求められている．通常の機械部品において，その精度は形状精度の向上，研削面粗さおよび加工変質層の低減によって評価される．しかし光学部品においては，光学的に現れる研削模様が精度を左右する重要な因子になることが多い．例えばピンやパンチの鏡面加工で，びびりもしくは砥石軸の振動に起因した研削模様が発生したとしても，それが要求された仕上げ面粗さの範囲内であり，材料学的な劣化が許容範囲内であれば，機能上それほど問題にはならない．しかし光学用の場合は，研削模様があった場合，光学的な像となって現れるため大きな問題となる．本研究においては軸対称非球面形状の金型を研削する際に発生する研削模様と研削条件，およびその選定指針について検討した．