ミニ生産システムとその要素技術開発一超精密化のためのミニ工作機械

摘要

ナノテクノロジは様々な分野で進展を見せている。従来型の機械部品を微小化する事例では、要求精度が超精密と言うべきサブミクロン以下を必要とする部品が増え始めている。例えば様々な携帯機器の重要なメモリーとして期待の高いHDDでは構成部品が小さくなり、その形状精度は100nm以下、場合によっては50nm以下、更には10nm以下にまでなろうとしている。またジーゼルエンジンの環境対策の手段として、噴射ノズルの噴射口の径はより小さくすることになる。それに伴い噴射圧力は200MPaを超えてきている。そこでそのノズル内面のシート面の形状精度は100nm以下の超精密にする必要が出てきている。もちろhこれら以外にも小さい超精密の要望は潜在化しており、精度nmの実現手段が現実化すればさらに具体的な要望が増加するであろう。