短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによるポリエチレンテレフタレートの表面酸化

摘要

狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマはミクロンオーダーのギャップ間に生成したプラズマを試料にほぼ密着させて照射できる点で特徴がある。本研究では、短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマをポリエチレンテレフタレート（PET）の表面酸化に適用し、PETの表面状態をX線光電子分光法（XPS）、原子間力顕微鏡（AFM）および接触角の測定によって検討する。