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【24h】

Fabrication Of A Mosfet With Self-aligned Nanogate Electrode Based On Dual-functional MoO/sub 3/WO/sub 3/ Bilayer Resist

机译：基于双功能MOO / SUB 3 / SUS 3 /双层抗蚀剂的自对准纳瓦纳固电极制造MOSFET的制造

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来源
《International Microprocesses and Nanotechnology Conference》|1998年||共2页
会议地点
作者
Hashimoto M.; Koreeda T.; Institute of Electric and Electronic Engineer;
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正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
关键词

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