Kelvin measurement; MEMS probe; cantilever; probe card; wafer test;
机译:悬臂在开尔文探针力显微镜测量中的作用
机译:非接触式音叉位置感应,适用于空心金字塔近场悬臂式探头
机译:具有集成导电同轴尖端的自感悬臂,用于高分辨率电扫描探针计量
机译:集成的CMOS-MEMS探头,每个悬臂有两个尖端,用于两个悬臂分别进行接触感测和开尔文测量
机译:亚纳质量负载的CMOS-MEMS悬臂谐振器振荡器,用于气体检测。
机译:悬臂在开尔文探针力显微镜测量中的作用
机译:悬臂在开尔文探针力显微镜测量中的作用