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An efficient design tool for transmission line on SIMOX substrates

机译：SIMOX基板上的传输线路有效设计工具

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Planar metallizations on surface-passivated semiconductor substrates have become a familiar form of signal transmission with the rapid development of the monolithic integrated circuit technology now extending into the microwave frequency region. However, little is known at present concerning the transmission properties of such a composite structure. In this paper we present the behaviour of the SOI substrate as function of frequency. A new model of transmission line is developed and compared with measurements of CPW lines realized on various SIMOX substrates.

机译：表面钝化的半导体基板上的平面金属化已成为一种熟悉的信号传输形式，随着现在延伸到微波频率区域的单片集成电路技术的快速发展。然而，目前关于这种复合结构的传动特性本来已知的。在本文中，我们将SOI基板的行为呈现为频率的函数。开发了一种新的传输线模型，并与各种SIMOX基材上实现的CPW线路的测量相比。

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来源
《IEEE International SOI Conference 》|1996年||共2页
会议地点
作者
Raskin J.P.; Huynen I.; Institute of Electric and Electronic Engineer;
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会议组织
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正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术 ;
关键词

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