大型曲面光学素子の超精密加工における高速非接触機上測定手法

摘要

長さ100mmを超える大型の高精度曲面光学素子は車載用HUD光学系やX線，中性子線などの光学系の光学部品として広く用いられる．高精度加工機上で取り外すことなく計測する機上計測は迅速な高精度加工の実現にきわめて有効である．アルミなどの軟質金属である被加工物を損傷することなく高精度かつ高速に計測する非接触レーザプローブを用いた加工機上計測システムの構築について述べる．