dimensional metrology; scatterometry; real time; process monitoring; light diffraction; subwavelength diffraction;
机译:纳米压印光刻技术制造高质量衍射光栅的关键工艺研究
机译:导模谐振滤波器制造过程中精确控制亚波长平面全息光栅周期的方法
机译:可光聚合纳米复合材料通过自组织过程制备亚波长微结构
机译:基于亚波长衍射的纳米加工质量控制衍射仪
机译:基于双螺杆挤出平台的新型加工方法:流动性控制和反应挤出,带静电纺丝的混合方法的开发以及梯度纳米囊*筛网的制造。
机译:在基于原子力显微镜尖端的纳米铣削工艺中制备聚二甲基硅氧烷纳米流体芯片
机译:通过可光聚合的纳米复合材料进行自组织过程的亚波长微结构