injection molding; polymer; single cell capture; UV LIGA; dry etching;
机译:通过在玻璃微透镜阵列的硅母模上施加金刚石CVD来制造基于金刚石的压印模具
机译:制作用于PDMS全内反射型器件的光学上光滑的晶圆硅模具
机译:微型模具薄壁设备:微型模具的微加工现在可以在热塑性塑料,硅树脂和金属中进行薄壁微型注射成型
机译:使用多层硅原件制造的用于单细胞捕获的全聚合物注塑装置
机译:硅上光控微带单间隙和叉指间隙器件的研究与制造。
机译:硅的低温腐蚀:垂直微悬臂梁母模的另一种方法进行制造
机译:注射模制取决于LGP模塑制造方法的注塑成型件的表面特性研究
机译:异质结构单晶硅光伏电池:扩展。 a型,半导体异质结硅器件。最终报告,1978年5月15日 - 1978年8月10日