FIB; diamond; hard mask; slot-waveguide; waveguide;
机译:使用单晶硅硬掩模在散装金刚石中制造三角形纳米束波导网络
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机译:通过各向异性湿法刻蚀和聚焦离子束技术制造的亚微米级荫罩,用于特高压中的纳米加工
机译:使用聚焦离子束硬掩模制造新型金刚石波导
机译:利用统计を见る聚焦离子束注入制造的半导体量子线中电子波的量子干涉效应
机译:电子束与聚焦离子束光刻技术制备的等离激元天线的比较研究
机译:用单晶硅硬掩模制作体金刚石三角形纳米束波导网络