首页> 外文会议>Australian Conference on Optical Fibre Technology >Fabricating novel diamond waveguides using the focused ion beam hard mask
【24h】

Fabricating novel diamond waveguides using the focused ion beam hard mask

机译:使用聚焦离子束硬膜制造新型金刚石波导

获取原文
获取外文期刊封面目录资料

摘要

The Focused ion beam has been used to direct write a hard mask against the plasma etching of diamond. Nano-waveguides were fabricated from diamond-on-silica thin films close to ideal dimensions predicted via FIMMWAVE simulations.
机译:聚焦离子束已用于引导抵抗金刚石的等离子体蚀刻的硬掩模。从靠近通过FIMMWAVE模拟预测的理想尺寸的金刚石上的二氧化硅薄膜制造纳米波导。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号