非接触静電気分布測定システムと人体への応用

摘要

ＭＥＭＳ技術で製作したシリコン製トーション·ミラーのアレイ、２次元光スキャナー、及び、ＰＳＤを用いたミラー傾き測定により、帯電分布が測定できることが分かり、人体への応用の初期実験として摩擦帯電の状況を調べた。今後、ミラーアレイを完成させ、実際の人体への応用を行う予定である。本研究は、独立行政法人科学技術振興機構の産業共同シーズイノベーション化事業顕在化ステージ受託研究「ＭＥＭＳ技術を応用した静電気非接触可視化システムの開発」として行ったものである。