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机译:在SOI晶片上的不规则光相控阵的制造
Xiao Feng; Li Guangyuan; Li Yanping; Xu Anshi;
机译:在绝缘体上硅晶片上制造不规则光学相控阵
机译:不规则光学相控阵的级联排列
机译:基于腔体SOI晶片的压电微机械超声换能器阵列的建模,制造和表征
机译:在SOI晶圆上制造不规则光学相控阵
机译:SiGe和CMOS技术中的毫米波晶圆级相控阵和无线通信电路与系统。
机译:具有蛾眼减反射纳米结构的晶圆级微透镜阵列的设计与制作
机译:晶圆测量试验台上的SIN集成光相控阵的表征
机译:由多个衍射元件组成的相位掩模,用于同时精确地制造大阵列的光耦合器及其制造方法
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