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机译:基于SOI的纳米光电器件应用的各向异性湿法蚀刻
Sun Fei; Zhou Zhiping; i-NOW;
机译:散装微机械加工的高速硅湿各向异性蚀刻:综述
机译:重新设计的T-PFF-V器件,用一步式各向异性化学湿法蚀刻工艺制造:连续模式中提高胶体颗粒的分离效率
机译:用于纳米技术中器件制造的各向异性湿法刻蚀工艺的水平集模拟
机译:各向异性湿法刻蚀在基于SOI的纳米光电器件中的应用
机译:用于纳米级应用的硅湿各向异性刻蚀机理。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:湿法刻蚀,用于通过碱刻蚀剂选择性地和各向异性地刻蚀硅基质
机译:制备结构部件的方法,其中通过各向异性湿法刻蚀形成特定的功能结构,即刻蚀槽,可用于生产单晶半导体
机译:湿法刻蚀法各向异性刻蚀单晶半导体的方法及装置
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