Ti-Ni-Zr薄膜金属ガラス/形状記憶合金の過冷却液体域特性

摘要

Ti-Ni-Zr合金は高湿形状記憶合金として知られ,マイクロアクチュエータ等のMEMS(Microelectromechanical systems）への応用が期待される．　我々はこれまでにTi-Ni-Zr合金をスパッタ法で成険した場合，Ni濃度が50at％以上の組成でガラス転移を示し，結晶化後，形状記憶特性を示ず　Ti-Ni-Zr薄膜金属ガラス/形状記憶合金を報告している，ただし，本合金はガラス転移の有無の境界瀞或の合金組成のため，本講演ではTi-Ni-Zr薄膜金属ガラス/形状記憶合金の過冷却液体戎での特性評価を行うことを目的とした．