high temperature; piezoresistive pressure microsensor; MEMS; SIMOX;
机译:分析模型来估算MEMS技术压阻式压力传感器的灵敏度
机译:基于临时粘接技术的新型压阻式MEMS压力传感器
机译:基于MEMS技术的多晶硅压阻式压力传感器
机译:基于MEMS技术的高温压阻式微传感器
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:基于临时键合技术的新型压阻MEMS压力传感器
机译:基于临时粘接技术的新型压阻式MEMS压力传感器