Implementing Simple Automation on Legacy Equipment without OEM Support

机译：在没有OEM支持的情况下在没有OEM支持的情况下实现简单的自动化

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Factory automation and legacy equipment are both common in the gallium arsenide/nitride industry. Here we describe an approach to integrate an older legacy etch platform without built-in external communication systems to our factory automation system.

机译：工厂自动化和遗留设备均为砷化镓/氮化物行业常见。在这里，我们描述了一种将旧传统蚀刻平台集成的方法，而无需内置外部通信系统到我们的工厂自动化系统。

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来源
《International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology》|2014年||共4页
会议地点
作者
Dana Schwartz; Corey Anderson;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TN3-53;
关键词
Legacy Equipment; Automation; ARCNET; QNX;

机译：遗留设备;自动化;Arcnet;QNX;

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