spectrometer; spectroscopy; applications; performance; resonant; scanning grating, micro scanning mirror; MEMS; MOEMS;
机译:基于倾斜(111)硅片的高性能扫描光栅,用于近红外微光谱仪应用
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机译:硅微机械振动衍射光栅,用于微型高分辨率快速激光扫描