Entwicklung eines piezoelektrischen Dreh-Schub-Aktors fur einen Mikromanipulator mit Parallelstruktur

摘要

Piezoaktoren zahlen inzwischen zu den Standard-Bauelementen der Mikrosystemtechnik; insbesondere die diskontinuierlich arbeitenden Aktoren nutzen die ansonsten eher nachteilig gesehene Reibung, um aus beschrankten kontinuierlichen Schrittbewegungen grossere Bewegungen bei gleichzeitig hoher Haltekraft zu erzeugen. Prinzipbedingt arbeitet ein Piezoaktor als reiner Schubantrieb (Piezotranslator). Wenn aus der Translationsbewegung auch eine Drehbewegung erzeugt werden soll, muss ein passendes Getriebe als Ubersetzungskomponente zwischengeschaltet werden. Der vorliegende Beitrag beschaftigt sich mit der Entwicklung und Auslegung eines piezoelektrischen Dreh-Schub-Aktorsystems und beschreibt die Anwendung dieses Systems als Antrieb fur einen sechsachsigen Mikromanipulator mit Parallelstruktur.