机译:亚微米牛顿力分辨率的MEMS弹簧的机械校准
机译:用于非接触原子力显微镜的石英音叉弹簧常数的校准:直接的机械测量和模拟
机译:用于非接触原子力显微镜的石英音叉弹簧常数的校准:直接的机械测量和模拟
机译:MEMS弹簧的机械校准,具有0.1μN力分辨率
机译:具有梳齿驱动器的微机电系统(MEMS)的自校准:弯曲宽度,间隙,位移,力和刚度的测量。
机译:非接触原子力显微镜的石英音叉弹簧常数校准:直接机械测量和模拟
机译:用于非接触式原子力显微镜的石英音叉弹簧常数的校准:直接机械测量和模拟