Thermal MEMS; Defects; Bulk micromachining; Fault modeling; Fault injection; HDLs;
机译:具有多个输入的悬架MEMS器件结构的双端口电热模型
机译:电热致动RFMEMS悬浮并行开关
机译:断裂弯折和断裂传播弯折结构模型中的热有机质模型
机译:悬浮式热MEMS的故障建模
机译:悬浮热氧化物隔离,用于MEMS中的驱动和小电流测量。
机译:微型制造过程驱动的设计有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪
机译:用于含水层热能存储,Carleton大学,加拿大渥太华的稳态和瞬态水文,热化学型含水层。
机译:悬浮式mEms设计的建模与仿真