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Determination of gas temperature in a CVD reactor from optical emission spectra with the help of artificial neural networks and group method of data handling (GMDH)

机译：借助于人工神经网络和数据处理的组方法，从光发射光谱法测定CVD反应器中的气温和数据处理方法（GMDH）

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Optical emission spectroscopy is widely used for monitoring of low-temperature plasmas in science and technology [1]. However, determination of temperature from optical emission spectra is an inverse problem that is often very difficult to solvesteadily by conventional methods. This paper reports successful application of artificial neural networks (ANN) and group method of data handling (GMDH) for determination of gas temperature from model optical emission spectra analogous to those recordedin a DC-discharge CVD reactor used for diamond film deposition.

机译：光发射光谱广泛用于监测科技中低温等离子体[1]。然而，来自光学发射光谱的温度的测定是通过常规方法常量溶解的逆问题。本文报告了人工神经网络（ANN）和数据处理（GMDH）的组方法的成功应用，用于测定模型光发射光谱的气体温度，类似于用于金刚石膜沉积的直流放电CVD反应器。

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来源
《Evolutionary/Adaptive Computing Conference》|1998年||共9页
会议地点
作者
S. A. Dolenko; A. V. Filippov; A. F. Pal; I. G. Persiantsev; A. O. Serov;
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正文语种
中图分类 TP391.7-53;
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