optical figure metrology; laser interferometer; vibration desensitization;
机译:液晶点衍射干涉仪(LCPDI)与商用相移干涉仪的实验比较以及提高LCPDI精度的方法
机译:点衍射干涉仪波前传感器,具有双折射晶体
机译:圆形载波压缩干涉仪:抑制同时相移点衍射干涉仪中的相移误差
机译:具有减振功能的点衍射干涉仪
机译:偏振相移点衍射干涉仪。
机译:用于光学测试的合成相移:点衍射干涉测量法没有零光学器件或相移器
机译:基于亚微孔光纤点衍射干涉仪的绝对位移快速搜索测量
机译:用于波前测量的液晶点衍射干涉仪