大気圧プラズマを用いた液体原料からの粉体生成

摘要

現在、シリカ等の微粒粉体の生成はインゴットの破砕処理による手法が主流となっている。今回、我々はプラズマを用いて微粒子を直接合成する新技術を開発した。