微分器なし外乱オブザーバの一調整方法

摘要

位置決め装置はFA分野で広く用いられ，ボールねじ駆動やリニアモータ駆動などのステージが知られている.近年，加工物の微細化に伴い位置決め精度の向上が求められている.しかし，そのためには駆動時の摩擦などの外乱を低滅させ制御性能を保持させる必要がある.そこで外乱ォブザーバ（以下，DOBと略記）が利用される.