Ar プラズマを用いたPTFE 表面処理によるTi 薄膜付着性と処理温度の影響

摘要

ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の優れた特性から，その利用は広範囲の分野に渡っている。さらに，それらの特性を活かしながら，別の機能を付与すべく，PTFE を様々な手法で改質することが試みられている。良く知られているところは，物理的手法によってPTFE を表面改質して，撥水性や親水性の改善を目的にしたものである。これまで著者らは，イオンビームの高エネルギーを用いて撥水性の改善1)を行ってきたが，親水性については高エネルギーを必要としないことが明らかであったため，プラズマ処理を用いることにした。先行研究より，表面状態や付着性の変化は，入力電力や処理時間によっても変化することが確認され2)，処理に伴う表面温度がPTFE 表面化学状態にも影響を及ぼしていることが推測される。本研究では，熱による影響を調べるため，粘着テープタイプのPTFE を貼付する基板の材質を変え，PTFE 表面の温度を微妙に変えることで金属膜の付着性に及ぼす影響を調査した。