短パルス軸方向放電励起CO2 レーザーの高出力化

摘要

軸方向放電励起方式のレーザーは、放電長が長く、低ガス圧で動作するため小型で単純かつ安価な装置構成が可能であり、産業応用に適している。本研究では、高電圧ダイオードを放電スイッチとして用いた軸方向放電励起CO_2 レーザーの開発を行った。加えて、CO_2 レーザーの材料加工において有用なレーザーパルスの短パルス化、レーザー出力の高出力化を検討した。