準大気圧直流ヘリウムアーク放電プラズマ生成と特性評価

摘要

ヘリウム（He）プラズマ照射で得られるタングステン（W）表面の繊維状ナノ構造は，完全黒体に近い放射特性を有する等，様々な産業応用のポテンシャルを有している。我々は準大気圧定常He アーク放電プラズマを生成・照射する装置を開発し，初期実験から繊維状ナノ構造形成を確認した。しかし，交流アーク放電を用いているため，プラズマ電位等のパラメータが時間的に変動し，繊維状ナノ構造形成条件の最適化が難しい課題がある。そこで，本研究では準大気圧直流He アーク放電生成と特性評価を行った。