ファラデーシールドが及ぼす誘導結合プラズマのE モード抑制への影響

摘要

誘導結合プラズマ（ICP）には、低密度の静電結合（E モード）放電と高密度の誘導結合（H モード放電）の2 つの放電形態がある。E モード放電は、H モード放電より電子密度が低く、円筒コイル型においてはプラズマの空間分布に偏りが生じるため、応用上望ましくない。本研究では、ファラデーシールドを導入することでE モードを抑制し、Hモードに速やかに移行する最適な条件を評価した。