ループ型Ar 誘導熱プラズマの三次元電磁熱流体解析モデルの構築

摘要

筆者らは，「誘導熱プラズマ」を材料表面の高速大面積処理に応用するために，独自にループ型誘導熱プラズマトーチを開発している(1)。従来の円筒型誘導熱プラズマとは異なり，ループ管内に熱プラズマを維持し，熱プラズマ一部を基板上に線状に生成する。この線状熱プラズマに対し垂直方向に基板を掃引すれば，基板の2 次元アニーリング，高速酸化・窒化などを行える可能性がある。今回ループ型Ar誘導熱プラズマの性状把握のため，3 次元電磁熱流体解析モデルを構築し，ループ管内および基板ホルダ上における熱プラズマの電子温度・ガス温度分布を検討した。