静的準中性プレシースの計算に関する検討

摘要

我々は，プラズマと固体表面の界面に形成されるシース 構造を高速で計算するモデルを開発してきた(1)。その際，こ れまでのモデルでは，プレシースについては扱うことがで きなかった。しかし，検討の結果，低圧のエッチングプラ ズマのように，弱衝突の仮定がプレシース内で許される場 合には，若干の修正をモデルに加えることにより，プレシ ースを含めた計算が可能となる。