immersion; second generation fluid; hydrocarbons; refractive index; absorbance; fluid handling; radiation durability; active recycle; window contamination; particle contamination;
机译:高折射率浸没式光刻中的流体-光刻胶相互作用和成像
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:高折射率浸入式液体,可实现经济高效的单曝光光刻,适用于32nm半间距
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:通过宽光束扫描曝光和自参考对准实现干涉光刻的无限记录长度
机译:高指数浸入式液体可实现32纳米半间距的经济高效的单次曝光光刻