機器の高性能化を支える超高精度熱膨張計の開発

摘要

人工衛星や半導体製造装置等の精密機器の更なる高性能化には、温度変化に対する寸法安定性を高めることが重要であり、熱膨張率が10-7/K 以下の材料（以下、「低熱膨張材料」と記す）の必要性が増大している1)。また、高い信頼性が求められる分野では、物性の不確定性に起因する不具合を回避するために、使用される材料の物性を十分な精度をもって正確に把握することが必要とされている。