共鳴硬Ｘ線光電子分光計測技術の進展と適用例

摘要

SPring-8 BL09XUで行われている共鳴硬X線光電子分光（HAXPES）計測技術を紹介する。本開発は固定入射エネルギーに限定されてきたHAXPES計測において、入射エネルギーの掃引を可能にし、内殻吸収過程を利用することで、元素軌道・原子価数選択性を付加することを目的としている。つまり、深さ約数十 nm までの固体内部の化学結合状態解析が可能であるという HAXPES の特徴に、通常の HAXPESには無い選択性を加えることで、埋もれた界面のより詳細な電子物性解析が可能である。また、通常の内殻吸収計測 (XAFS）と比べ、詳細に化学結合状態を解析できるという特徴を持つ。