生体物質のSIMS 分析における二次イオン収量に対する高速分子一次イオンの分子軸の影響

摘要

生体物質の二次イオン質量分析法において、試料中の生体分子の一次ビームによる損傷をできる限り低減することが重要である。そのためには、電子励起スパッタリングや高い二次イオン収量を実現する一次ビームを選択する必要があり、近年、その一次ビームとして静電加速器から得られる高速分子・クラスタービームが注目されている。一方、高速分子・クラスタービームによる二次イオン放出機構の基礎的理解は不十分であるため、応用研究に進展していないのが現状である。