電子線ホログラムの干渉縞欠損箇所修復による残滓低減手法

摘要

物質内部や表面の電位分布・磁場分布の計測に電子線ホログラフィーが用いられている。この手法では、ホログラム（電子線干渉縞画像）から、試料を透過した電子波の位相遅れ量を推定する。しかし、雑音の影響や電子線センサーの異常等の原因により、位相再生像に残滓(residue) と呼ばれる異常が現れる場合があり、高精度計測の妨げとなっている。残滓は、ホログラムの欠損部を補完することにより、低減可能であることが知られているが、実用には至っていない。本報告では、電子線ホログラムの干渉縞欠損箇所修復による残滓低減手法の実用化を目指し、その影響の評価・検討を行う。