薄い平板試料の複素誘電率測定における空洞共振器法の溝の影響

摘要

薄い平板試料を空洞共振器に挟hで試料の複素誘電率を推定する空洞共振器法においては，測定モードのTE_(011)モードをTM_(111)モードと分離するために空洞共振器の端に小さな溝が作製されるが，誘電率推定では溝は考慮されていない.ここでは，TE_(011)モードの共振周波数のみによって，空洞共振器の寸法を簡易的に補正する方法を用いた場合に，厚さ0.1mm以下の薄い平板試料に対して，空洞共振器法による複素誘電率測定の精度を検討している.