Siリングフィルタをハイブリット集積した小型光負帰還狭線幅半導体レーザ光源

摘要

あらまし小型な狭線幅半導体レーザ光源の実現へ向け、単一モード半導体レーザと半導体光導波路型フィルタ によって構成される、光負帰還法を原理としたレーザ光源の検討を進めた。集積可能な光導波路型フィルタとして Si導波路製反射型リングフィルタを設計.試作し、単一モードDFBレーザへハイブリッド集積することで、発振 スぺクトル線幅を160kHzまで狭窄化することに成功した。