nanophotonics; interference lithography; diffraction grating; spatial light modulator; phase-engineering;
机译:通过相控干扰光刻在“倒雨伞”几何形状之后用亚微米轴向和空间周期的制造螺旋光子结构
机译:通过软X射线干涉光刻在各种基板上制备大面积高纵横比周期性纳米结构
机译:通过激光干涉光刻和干法蚀刻在石英中制造大面积的微/纳米结构
机译:使用干涉光刻和缺陷的直接写入来制造大面积二维光子晶体
机译:将纳米压印光刻技术与动态模板相结合,以制造致密的大面积纳米粒子阵列。
机译:使用干涉光刻和硫族化物光致抗蚀剂制备周期性等离子体结构。
机译:由飞秒直射写作和干扰性光刻中红外线中耐火沉降型intan纳米纳米阵列的大面积制造邀请
机译:利用氦镉紫外多模激光制备亚微米结构光学材料的干涉光刻性能研究