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A Dry Lift-off Method for Patterning Perovskites

机译：钙钛矿图案的干法剥离方法

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In this paper, we demonstrate a new method to pattern perovskites using a dry lift-off process. By utilizing parylene-C as a sacrificial layer, patterns with <; 12 um features and multicolor patterns can be achieved.

机译：在本文中，我们演示了一种使用干剥离工艺对钙钛矿进行图案化的新方法。通过使用聚对二甲苯-C作为牺牲层，图案具有<;可以实现12 um的功能和多色图案。

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来源
《Conference on Lasers and Electro-Optics 》|2020年|1-2|共2页
会议地点
作者
Cheng Chang; Chen Zou; Mark Odendahl; Lih Y. Lin;
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正文语种
中图分类
关键词
Solvents; Lithography; Quantum dots; Substrates; Optical filters; Optical device fabrication;

机译：溶剂;光刻;量子点;基板;光学滤波器;光学器件制造;

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