スペックルナイフエッジ光検出器を用いたレーザ超音波法による内部欠陥検出

摘要

レーザ超音波法は非接触な非破壊検査手法の一つとして、被検体へのプローブ接触が許されないような特殊環境下を中心に様々な分野で適用が進hでいる。近年、英国Nottingham大学により、粗面でもナイフエッジ法による表面振動計測が可能となるスペックルナイフエッジ光検出器(Speckle Knife Edge Detector： SKED)が開発された。SKEDをレーザ超音波の検出器として用いることで、これまでより小型かつ低コストなレーザ超音波装置を実現できると考えられる。本研究では欠陥模擬スリットを付与した金属試験体を用い、SKEDによるレーザ超音波計測の基本性能を確認した。