バーチャルパラメーター設計によるバルブ要素技術の数値化

摘要

流体の流量制御を行う機器である熱式マスフローコントローラー(以後MFCと略す)は、図1に示すような内部構造を有している。主要な機械構成部品として、流量センサ、バイパス、バルブの3つが挙げられる。流量センサはMFCに流入する流量を検知し、バイパスによって全体の流量(分流比)が調整され、バルブによる流路開度の調整で希望する流量を達成している。これらは全て、MFCにとつてキーパーツとなっている。