プローバ装置と組み合わせた小型Kerr効果顕微鏡による磁区像の観察

摘要

STT-MRAMやレーストラックメモリに代表されるスピントロニタスデバイスの研究，車載向け磁気センサーの開発は広く行われており，これらの研究，開発においてはプローバ装置の活用が不可欠である.磁気光学Kerr効果を用いた磁区観察顕微鏡は試料の磁気特性把握が可能であり，磁性研究，開発に使用されてきた.しかし，従来の磁区観察顕微鏡は装置寸法が大きいため，プローバ装置と組み合わせることは困難であった.今回我々は，プローバ装置に組み込み可能な小形磁区観察顕微鏡の開発を行った.LED光源の採用と光学系の改善により従来の性能を維持しつつ，大きさは1/20まで小型化を達成した.