シリコンフォトニクス向け広出射角度·高出力レンズ集積型面出射レーザ

摘要

シリコンフォトニクス(SiP)プラットフォーム用のレーザ光源として1.3 μm波長帯レンズ集積型面出射DFBレーザ(LISEL: Lens-integrated Surface-emitting DFB Laser)をベースとしたレーザμプラットフームを検討している。本研究では，レーザμプラットフォームに向けたLISELを検討した。LISELの集積ミラー角度とレンズ位置シフトの制御により，FFPの劣化が無く，GCとの光結合に必要となる20°近傍までのビーム出射角度を実現した。更に，300 μmの長共振器DFB構造の採用により，85°Cにおいて，約20mWの高出力化を実現した。