displacement measuring interferometry; 3DOF; homodyne interferometry; angular interferometry; freeform metrology;
机译:光学和触觉光学探针在高精度坐标测量机中的微米和纳米坐标测量技术
机译:使用光学位移传感器制造用于坐标测量机的小型测头
机译:精密,宽动态范围的位移测量零差正交激光干涉仪
机译:具有尖端和倾斜灵敏度光学坐标测量机的鞋类位移测量干涉仪探头
机译:比较坐标测量机所选探头配置的测量变化。
机译:动态光学位移光谱法测量生物膜的快速随机位移
机译:使用光学位移传感器的坐标测量机的小触摸探头的制造
机译:评估双光束激光多普勒位移计改装到坐标测量机。总结报告