ガラス/Fe-Co複合ターゲットを用いた高周波用磁性膜の開発

摘要

DF rate=0の条件下で，Fe_(70)Co_(30)とガラスを複合したターゲットにレーザを照射する際，ガラスの被覆率を0〜100%の範囲で変化させ実験した。以下に得られた知見と今後の予定を示す。1.ガラス被膜率20%で作製した試料のX線回折図を観察したところ，ガラスとFe-Co相の両方が含有した試料を作製できる事を確認した。