nanometrology; scanning probe microscope; three-coordinate laser interferometer;
机译:使用外差干涉仪的纳米范围动态标准具的计量学表征
机译:用于SPM计量的3D推拉外差干涉仪
机译:机械工业的气象服务现状与发展前景。
机译:使用外差干涉仪的SPM计量保证
机译:紧凑型外差干涉仪,用于高精度位移测量
机译:基于高速高分辨率外差式干涉仪误差模型的高稳定激光源设计
机译:外差式干涉仪,用于测量纳米结构材料物理性质的设备的计量保证