Monte-Carlo method; atom lithography; imperfect chromium source; laser optics; nanometrology;
机译:原子光刻中铬光束的二维准直的结构化反射镜阵列
机译:1 mrad以下的激光冷却铬原子束,用于直接写入原子光刻
机译:铬原子束原子光刻
机译:纳米术学中1D原子光刻缺乏铬源的分析
机译:GaN NWS的多功能性质应用于纳米术,纳米级,扫描探针显微镜/光刻
机译:亚10 nm特征铬光掩模用于方形金属环阵列的接触光刻构图
机译:原子光学光刻法生长磁性钴/铬纳米阵列